活性炭的預處理對低溫泵工作性能的影響

　　低溫泵是利用低溫吸附而達到獲取真空的裝置。與其他真空獲取設備相比，其具有無油、低振動等優勢。活性炭是低溫泵常用的一種吸附劑，其對低溫泵的工作性能起著關鍵性的作用。根據真空度的需求，一般要求低溫泵對氫的抽速較大。這就需要適合于氫的吸附的活性炭。椰殼活性炭的孔隙大小對氫的吸附比較適合。本文首先對活性炭進行了預處理，用掃描電子顯微鏡和低溫吸附儀對其結構和吸附性能進行了表征，并將其用于低溫泵的吸附鎮，發現安裝了經過處理活性炭的低溫泵其抽氣速率和極限真空都有一定的提高。

　　低溫泵在半導體、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機等領域有著重要的應用。隨著真空技術的發展，世界范圍內對真空的需求也越來越廣泛，特別是無油的潔凈真空。與其它真空獲得產品相比，低溫泵具有無油低振動等顯著優勢，是獲得清潔真空的極限壓力zui低、抽氣速率zui大的真空泵，另外低溫泵在抽除水蒸汽等低蒸汽壓物質具有更強的能力。因此，在真空應用領域低溫泵具有比其他真空獲得設備更為明顯的優勢。

　　低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結，并保持凝

　　結物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。其中低溫吸附對低溫泵的工作性能有著決定性的作用。

　　因此，如何提高吸附劑的吸附性能成為低溫泵研制過程中重要的環節。一般情況下低溫泵所使用的吸附劑是活性炭，根據所要抽速氣體分子的大小不同選擇不同類型的活性炭[1]。一般從市場上買來的活性炭由于在生產、運輸、存儲過程中會有部分孔發生堵塞，因此需要對活性炭進行擴孔、去灰等預處理。